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Phasics 波前傳感器

簡要描述:Phasics 波前傳感器SID4-UVHR是*適用于光學(xué)元件的特性(用于光刻技術(shù)、半導(dǎo)體…)和表面檢查(透鏡和晶片…)。由于它小巧,易于使用,能有效地適應(yīng)各種實(shí)驗(yàn)條件。

  • 產(chǎn)品型號(hào):SID4-UVHR
  • 更新時(shí)間:2024-12-26
  • 訪  問  量:796

產(chǎn)品簡介

品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
組件類別其他應(yīng)用領(lǐng)域電子

詳細(xì)介紹

Phasics SID4-UVHR波前傳感器

Phasics利用其的四波橫向剪切干涉技術(shù),在紫外波前測(cè)量提供了優(yōu)秀的解決方案。它有非常高空間分辨率(345x275測(cè)量點(diǎn))和在190-400nm范圍具有高靈敏度(0.5 nm RMS)。因此,SID4-UVHR是*適用于光學(xué)元件的特性(用于光刻技術(shù)、半導(dǎo)體…)和表面檢查(透鏡和晶片…)。由于它小巧,易于使用,能有效地適應(yīng)各種實(shí)驗(yàn)條件。


SID4-UVHR                    光學(xué)器件測(cè)量                  自適應(yīng)光學(xué)


Phasics SID4-UVHR波前傳感器特點(diǎn):

由于其的技術(shù)技術(shù),PhasicsSID4-UVHR波前傳感器具備以下特點(diǎn):

1.超高分辨率:250x250測(cè)量點(diǎn)

2.高靈敏度:0.5nm

3.通光孔徑大8*8mm

4.直接測(cè)量:光學(xué)元件和表面質(zhì)量


Phasics SID4-UVHR波前傳感器應(yīng)用:

SID4-UVHR紫外波前傳感器提供應(yīng)用:

紫外激光器:光束測(cè)試與校正

光學(xué)測(cè)量:UV光學(xué)測(cè)試(半導(dǎo)體…)和表面測(cè)量


SID4-UVHR產(chǎn)品參數(shù):

波長范圍

190 - 400 nm

通光孔徑

13.6 x 10.9 mm2

空間分辨率

40 µm

采樣點(diǎn)(相位/強(qiáng)度)

345 x 275

相位相對(duì)靈敏度

1 nm RMS

相位精度

10 nm RMS

動(dòng)態(tài)范圍

~

采樣頻率

> 30 fps

實(shí)時(shí)分析頻率

3 fps (full resolution)

數(shù)據(jù)接口

Giga Ethernet

尺寸(w x h x l)

51 x 51 x 76mm

重量

~300 g



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